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Kontakt

Prof. Dr.-Ing. Andreas Neyer
Arbeitsgebiet Mikrostrukturtechnik

Telefon: 0231 755-6650
Fax: 0231 755-3729

Adresse:

ET A
Friedrich-Wöhler-Weg 4
44227 Dortmund
(Campus Nord, Einfahrt 34, ET-A Gebäude)

Raum Gebäude ET A, 2. Etage, Raum 2.01

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Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik

Mikroelektronische Schaltkreise bilden die hardwaremäßige Grundlage unserer modernen Informations- und Technikgesellschaft. Die zunächst in der Mikroelektronik entwickelten Technologien zur Erzeugung von Mikro- und Nanostrukturen werden heute in der Mikrosystemtechnik eingesetzt, um mikromechanische, mikrooptische und mikrofluidische Bauelemente zu entwickeln und diese zusammen mit mikroelektronischen Schaltkreisen zu intelligenten Mikrosystemen für Anwendungen in der Sensorik, Aktorik und Analytik zu kombinieren.

In der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik stehen alle notwendigen Geräte und Reinräume zur Verfügung, um mikrosystemtechnische Komponenten zu entwerfen, zu realisieren und zu testen: Mikroelektronische Schaltkreise auf der Basis von CMOS-Technik, mikromechanische und mikrooptische Bauteile auf der Basis von Silizium sowie mikrooptische und mikrofluidische Systeme aus polymeren Werkstoffen.

 

Themenschwerpunkte sind:


Dem Bereich Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik sind folgende Lehrstühle und Arbeitsgebiete zugeordnet:

 

Ihr persönlicher Ansprechpartner für Fragen zu Forschungsprojekten und zum Technologietransfer im Bereich der Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik ist Herr Prof. Dr. Andreas Neyer.